蒸发磁控两用镀膜机
pvd真空镀膜设备
磁控溅射镀膜机
高真空蒸发镀膜机
pvd蒸发镀膜机
蒸发电镀设备
塑胶金属化电镀设备
铝膜pvd电镀设备
银膜pvd电镀设备
铬膜真空电镀设备
低温真空电镀设备
pvd真空镀膜设备
pvd真空电镀设备
pvd真空镀膜机
设备参数:
型号工作室尺寸直径x长(mm)可镀工件大尺寸直径(mm)---压力(pa)空载抽气时间
(分钟)装机总功率(kw)蒸发功率(kw)真空机组配置dy-1200φ1200x1400φ330x1200x6≤3x10-3≤65320kt-600;zj-300;2x-8;2x-70dy-1400φ1400x2000φ400x1700x6≤3x10-3≤66520kt-800;zj-600;2x-15;h-150dy-1600φ1600x2000φ470x1700x6≤3x10-
机械传动部分,电镀设备,涂层要求周边必须厚度均匀一致,因此,在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。即在要求大工件台转动(i)的同时,小的工件承载台也转动( ii),并且工件本身还能同时自转(iii)。在机械设计上,一般是在大工件转盘底部中央为一大的主动齿轮,周围是一些小的星行轮与之啮合,如果要实现产品自转的话,一般用拨叉拨动工件自转。
七、加热及测温部分涂层设备一般有不同位置的加热器,用热电偶测控温度。但是,由于热电偶装夹的位置与工件位置不同,温度读数不可能是工件的真实温度。要想测得工件的真实温度,有很多方法,可以在工件上装高温试纸或热偶计。
八、离子蒸发及溅射源,多弧镀的蒸发源一般为圆饼形,俗称圆饼靶,也有长方形的多弧靶。靶座中装有磁铁,通过前后移动磁铁,改变磁场强度,可调整弧斑移动速度及轨迹。为了降低靶及靶座的温度,五金真空电镀设备,要给靶座不断通入冷却水。为了---靶与靶座之间的高导电、导热性,还可以在靶与靶座之间加锡垫片。磁控溅射镀膜一般采用长方形或圆柱形溅射阴极。
九、水冷系统,一般由冷水塔,冰水机,水泵等组成
真空镀膜机必须由以上九个部件组成,真空电镀设备,每一个部件在机器里面都启动到了---的作用,缺一不可。
下面详细介绍一下真空镀膜机维护技巧:
1、扩散泵在重新开机前,要注意检漏工作。
扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入---,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水*清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。
方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6x10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气---后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。
2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。
方法是:拧开放油螺栓,电镀设备,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油*排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。
3、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。
方法是:用(naoh)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(al)与naoh发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
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