下面详细介绍一下真空镀膜机维护技巧：
1、扩散泵在重新开机前，要注意检漏工作。
扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入---，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水*清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，真空镀膜设备，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。
方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6x10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气---后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。
2、当粗抽泵(滑阀泵，旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)，需更换新油。
方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油*排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。
3、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。
方法是：用(naoh)饱和溶液反复擦洗真空室内壁，真空镀膜设备保养，( 注意人体皮肤不可以直接接触溶液，以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(al)与naoh发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
片式电阻端头磁控溅射镀膜机
本设备是片式电阻端头镀膜的设备，也适用于其它细小，颗粒状，无法悬挂的片式元件镀膜.
片式电阻端头磁控溅射镀膜机其特点为:
1.双磁控溅射靶镀膜速率高，膜层致密。
2.的夹具结构，可实现大批量电阴端头镀膜。
3.镀膜成品率达99%以上。
4.整机采用不锈钢制造，外型美观。
5.控制操作介面可实现各工艺过程参数设置及故障显示、开---机，镀膜过程全自动运行。
鼎益科技
真空镀膜设备运用技术已经成为了人们生活中不可或缺的一部分，影响着人民的生活方式，如日常生活中餐具、家居、建材、电子产品、包装等表面都镀上了一层膜，即改变了产品的性能，也改变为其美观度。
随着社会的进步，真空镀膜机技术也是日新月异，光学镀膜技术、卷绕镀膜技术、装饰镀膜技术、磁控镀膜技术，早已大量的投入到市场运用，来满足市场目前需求。很多行业以外的人心中都有一个疑惑，就是真空镀膜机具体是哪些结构组成的呢?下面汇成真空小编为大家整理了这方面的资料，供大家参考和学习。
一、真空室，涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式，不锈钢材料制造、弧焊接、表面进行化学抛光处理，真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。
二、真空获得部分，泰安真空镀膜设备，在真空技术中，真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的，必须将几种泵联合使用，如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。
三、真空测量部分，真空系统的真空测量部分，真空镀膜设备维修，就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样，没有一种真空计能测量整个真空范围，人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。如热偶计，电离计，皮拉尼计等等。
四、电源供给部分，靶电源主要有直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(rf)，常见的电源厂商有ae，adl，霍廷格等
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