玻璃真空镀膜机-烟台真空镀膜机-鼎益科技,鼎益真空

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    2023-6-24

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?所有操作阶段均由具有自动存档和备份功能的pc进行管理,该pc提供实---告,系统和周期状态数据,在整个过程中通知和指导操作员 设备规格:型号tyws-3042h真空室尺寸ф3000×h4200mm真空室机构卧式结构配置抽气系统及水冷系统真空机组机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵真空测量系统一台皮拉尼(mks) 一台冷阴极(mks)一台薄膜规(mks)镀膜系统电弧蒸发源、镀膜辅助离子电源充气系统流量计电源类型直流电源、中频电源、脉冲电源(偏压电源、弧电源)控制方式手动或全自动---真空指标5.0x10-4pa电弧源22台 - 28台200a - 300a偏压电源60kw/台工作转动方式多轴行星式公自转、变频调速(可控可调)工作烘烤温度常温-至450℃可控可调


真空镀膜机设计应该注意细节

鼎益科技在设计环节就开始需要进行捡漏的一些真空镀膜注意事项:1、

根据设备的工艺要求,确定真空镀膜机的总的大允许漏率,并依据这一总漏率确定各组成部件的大允许漏率。

2、

根据设备的大允许漏率等指标,在设计阶段就初步确定将要采用的检漏方法,并将其作为指导调试 验收的基本原则之一。

3、

根据设备或部件的大允许漏率指标,决定设备的密封、连接方式和总体加工精度,以及何种动密封形式能够满足要求。如,法兰采用金属密封或橡胶密封。

4、

容器结构强度设计时,考虑如果采用加压法检漏被检件所应具有的耐压能力和结构强度。

5、

选择零部件结构材料时,考虑是否使用了可能被工作介质和示漏气体腐蚀而导致损坏的材料。

6、

结构设计时,在容器或系统上要留有---的检漏仪器备用接口,以便在设备组装、调试过程中检漏使用。尤其是大型、复杂的管路系统,通常需要采用分段检漏方法,因此在管路上要设置分段隔离的阀门,并在每一隔离段上预留检漏仪器接口。

7、

零件结构设计时,尽量避免采用可能干扰检漏工作的设计方案。例如在真空室內螺钉孔不能采用盲孔形式,因为安装螺钉后螺孔内部剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出,形成虚漏。从而延长系统抽气时间,烟台真空镀膜机,干扰检漏正常进行。如图真空检漏中不应出现的结构。

8、

与此类似,结构设计中不允许存在连续双面焊缝和多层密封圈结构,因为这会在中间形成“寄生积”内的气体会形成虚漏;而当内、外双侧焊缝或密封圈同时泄漏时,“寄生容积”使示漏气体穿越双层焊缝的响应时间过长,无---常检漏。

9、

焊接结构设计时,尽量减少总装后无法检漏的焊缝。       真空镀膜机捡漏工作,是需要在设计、制造、调试、使用各个有关环节中随时进行,真空镀膜机厂家,但是为了减少后期捡漏工作加重,必须要在设计环节,就应该重视捡漏工作,---真空镀膜机后期环节捡漏环节的减少。


















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设备参数:型号zcca-1820真空室尺寸ф1800×h2000mm制膜种类金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等电源类型直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源靶类型多弧靶,选配中频孪生柱靶或平面靶真空室结构立式前开门结构(双层水套式或水槽式冷却)、后置抽气系统真空系统机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵加热系统常温至350度可调可控(pid控温),不绣钢加热管加热充气系统流量控制仪(1-4路)---真空6×10-4pa(空载、净室)(empty, clean room)抽气时间空载---抽至5×10-3pa小于13分钟保压率1h≤0.6pa工件旋转方式上旋转或下旋转+公自转变频无级可控可调,0-20转/分控制方式手动+半自动/触摸屏+plc备注真空室尺寸机机组配置可按客户产品及特殊工艺要求订做








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