机械传动部分,涂层要求周边必须厚度均匀一致,因此,在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。即在要求大工件台转动(i)的同时,小的工件承载台也转动( ii),并且工件本身还能同时自转(iii)。在机械设计上,一般是在大工件转盘底部中央为一大的主动齿轮,真空镀膜机,周围是一些小的星行轮与之啮合,如果要实现产品自转的话,一般用拨叉拨动工件自转。
七、加热及测温部分涂层设备一般有不同位置的加热器,用热电偶测控温度。但是,由于热电偶装夹的位置与工件位置不同,温度读数不可能是工件的真实温度。要想测得工件的真实温度,离子真空镀膜机,有很多方法,可以在工件上装高温试纸或热偶计。
八、离子蒸发及溅射源,多弧镀的蒸发源一般为圆饼形,真空镀膜机厂家,俗称圆饼靶,也有长方形的多弧靶。靶座中装有磁铁,通过前后移动磁铁,改变磁场强度,可调整弧斑移动速度及轨迹。为了降低靶及靶座的温度,二手真空镀膜机,要给靶座不断通入冷却水。为了---靶与靶座之间的高导电、导热性,还可以在靶与靶座之间加锡垫片。磁控溅射镀膜一般采用长方形或圆柱形溅射阴极。
九、水冷系统,一般由冷水塔,冰水机,水泵等组成
真空镀膜机必须由以上九个部件组成,每一个部件在机器里面都启动到了---的作用,缺一不可。
鼎益科技
可根据用户要求设计各种规格型号的真空镀膜机。真空机组及电控系统也可根据用户要求进行设计配置。
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真空蒸镀:
其原理是在真空条件下,用蒸发器加热膜料,使其气化或升华,蒸发粒子流直接射向基片,并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。蒸发同时也分电子束蒸发和电阻蒸发、感应蒸发等。
溅射镀膜:
是真空条件下,在阴极接上高压电,激发辉光放电,带正电的离子撞击阴极靶材,使其射出膜料粒子,并沉积到基片上形成膜层。
离子镀膜:
离子镀膜通常指在镀膜过程中会产生大量离子的镀膜方法。在膜的形成过程中,基片始终受到高能粒子的轰击,膜层强度和结合力非常强。离子镀膜镀制高精密的膜层时,可以加过滤掉大颗粒的离子,这样能达到高结构,高致密性的膜层。
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